金融界2024年12月9日消息，国家知识产权局信息显示，北京华丞电子有限公司申请一项名为“控压阀控制方法、控制装置以及半导体加工设备”的专利，公开号 CN 119084659 A，申请日期为 2024 年 9 月。

专利摘要显示，本发明提供一种控压阀控制方法、控制装置以及半导体加工设备。其中，方法包括：响应于检测到的被控部件的实际压力值未达到预设的目标压力值，确定由实际压力值到达目标压力值所需的第一剩余时间；响应于第一剩余时间大于预设时间阈值，对实际压力值和预设的目标压力值的差值采用 PID 算法计算出第一调整量；基于使被控部件的实际压力值达到目标压力值所需的控压阀的控制参数对第一调整量进行调整；根据调整后的第一调整量对控压阀的控制参数进行调整，以使被控部件达到目标压力值的第二剩余时间小于第一剩余时间，从而提高控压阀的调节效率。

本文源自金融界